本製品は製造・販売終了となっております。
製造終了品 製品本体 精密ステージタイププローブスタンド 18-00076A
本製品は製造・販売終了となっております。
精密ステージタイププローブスタンド 18-00076A
精密ステージタイプのプローブスタンドは最小分解能0.01mmの精度の為、ミリピッチ（mm）やインチピッチ（Inch）などの極小ピッチの半導体に対して容易に試験を行う事ができます。
- 印加の度に自動でステージが移動します。
- 各プローブは簡単に取り外し/取り付けが可能です。
- 印加時にはプローブを固定する事ができますので、印加後にカーブトレーサ等を使用した測定が容易です。
| 項目 | 仕様 |
| 寸法/質量 | (W)250×(H)400×(D)300 mm / 約 7 kg |
| 対応可能IC | 最大寸法:40 mm角 最小リードピッチ:0.4 mm |
| X-Y-θテーブル X軸 | 手動 移動量:20mm ※アリ溝、送りネジ |
| X-Y-θテーブル Y軸 | 電動（最大速度:13 mm/s）移動量:40 mm（Y分解能:0.01 mm） ※ステッピングモータ&ボールネジ |
| X-Y-θテーブル θ軸 | 手動 移動量:360° |
| Z軸 | 手動 移動量:20 mm ※スプリング内蔵押し下げ式 |
| 原点合わせ | 手動 |
印加イメージ
